2、非接触式加工，无机械应力，提高芯片质量

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3、CCD快速定位功能，实时同轴监视或旁轴监视功能

4、高精度二维直线运动平台，高精度DD旋转平台

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5、大理石基台，稳定可靠，热变形小

6、精密数控系统

7、全中文操作界面，操作直观、简易，界面良好

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8、划线工艺专家系统

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9、高可靠性和稳定性

10、激光器：IR/UV（选配）