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1、激光晶圆打标机是天弘为半导体行业推出的一款专业设备
2、选用国际领先的工业化级风冷固态激光器作为光源，高速高精度的数字振镜，辅以高精度的两维直线电机工作台及直驱旋转平台，专用CCD定位
3、根据用户需要，打标幅面可以从2英寸到12英寸
型号
激光器
激光物质
额定功率
直线电机工作台定位精度
直线电机工作台重复精度
±1um
直线电机工作台有效行程
CCD自动定位精度
线宽
晶圆激光打标机是开发用来标记每个晶片上的个别代码，以保证整个制程链的可追踪性
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